IC 制造過程各種工藝前都需要進(jìn)行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調(diào)整。晶圓升降機(jī)構(gòu)就是品圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復(fù)定位精度將直接或間接影響 IC 的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。研究、高速度、高穩(wěn)定性的新型晶圓升降機(jī)構(gòu)可以提高生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，為 IC 制造提供有力保障。

晶圓升降機(jī)構(gòu)需要完成升降運(yùn)動(dòng)，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。直線電機(jī)是一種將電能直接轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)，而不需要通過任何中間轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的新穎電機(jī)。其代表是音圈電機(jī)，音圈的繞制方向與磁場(chǎng)方向垂直，具有喇叭狀的輻射磁場(chǎng)，音圈通電后在磁場(chǎng)中會(huì)產(chǎn)生力，力的大小與施加在線圈上的電流成比例。電機(jī)運(yùn)動(dòng)形式可以為直線或者圓弧，主要用在精密儀器上。

晶圓升降機(jī)構(gòu)是自動(dòng)控制的，通過音圈電機(jī)完成升降運(yùn)動(dòng)。如果電機(jī)失控此時(shí)機(jī)構(gòu)正處于升降運(yùn)動(dòng)中，運(yùn)動(dòng)部件會(huì)上升到高點(diǎn)停不下來頂住外部結(jié)構(gòu)過長時(shí)間從而損壞電機(jī)。為了避免以上問題，在機(jī)構(gòu)中增加保護(hù)措施，確保機(jī)構(gòu)運(yùn)行的安全性。

晶圓上表面有定位用的標(biāo)識(shí)，晶圓在預(yù)對(duì)準(zhǔn)階段確定好了與傳輸機(jī)械手的相對(duì)位置，經(jīng)過升降機(jī)構(gòu)到達(dá)工件臺(tái)吸盤上，為了檢測(cè)標(biāo)識(shí)位需要其與吸盤相對(duì)位置是固定的。因此要求升降機(jī)構(gòu)在圓周方向上不存在轉(zhuǎn)動(dòng)。同時(shí)光柵傳感器安裝要求光柵尺與讀數(shù)頭相對(duì)位置在+0.1mm。防轉(zhuǎn)裝置能機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)圓周方向相對(duì)位置，晶圓傳輸?shù)木取?br/>
有些機(jī)器具有緩沖存放系統(tǒng)，使工藝過程總可以有新的晶圓準(zhǔn)備被加工（或給圖形化設(shè)備的放大掩模版），從而使機(jī)器的效率大化。這些稱為儲(chǔ)料器。操作員將片匣放在機(jī)器的上載器上，按下開始鍵，然后的工藝過程就交給機(jī)器來做。在300mm晶圓的水平，片匣可能會(huì)被一個(gè)單的晶圓承載器或輸運(yùn)器所替代。

在制造IC的生產(chǎn)線中，已全面采用了計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn)。對(duì)于復(fù)雜的作人為失誤在所難免，而且在潔凈室中，即使操作者身著無塵服，也不免造成污染。采用計(jì)算機(jī)控制和機(jī)器人搬運(yùn)，可提高產(chǎn)品質(zhì)量和安全性，從而降低成本。

• 

  內(nèi)蒙古供應(yīng)晶圓扶梯晶圓查看器

  面議

  產(chǎn)品名：晶圓挑片器,半導(dǎo)體挑片機(jī),晶圓挑片器,晶片挑選器,硅片挑片器,硅片升降機(jī)

• 

  青海供應(yīng)晶圓扶梯晶圓工具扶梯

  面議

  產(chǎn)品名：晶圓扶梯,晶圓讀號(hào)器,晶圓查看器,晶圓扶梯

• 

  吉林化學(xué)品連接配件供液槍頭

  面議

  產(chǎn)品名：化學(xué)品連接配件

• 

  浙江定制PTFE花籃PTFE清洗花籃

  面議

  產(chǎn)品名：PTFE花籃,PTFE單片花籃,PTFE清洗花籃,特氟龍清洗花籃,特氟龍花籃

• 

  貴州供應(yīng)化學(xué)品抽液接頭光阻接頭

  面議

  產(chǎn)品名：化學(xué)品抽液接頭,加侖瓶抽液接頭,光刻膠抽液頭,化學(xué)品分配頭,光阻接頭

• 

  內(nèi)蒙古PTFE方槽生產(chǎn)多少錢一個(gè)

  面議

  產(chǎn)品名：PTFE材料加工,PTFE溢流槽,PTFE廢液槽,PTFE酸槽,特氟龍槽

• 

  西藏晶圓理片器硅片對(duì)邊器

  面議

  產(chǎn)品名：晶圓理片器,半導(dǎo)體理片器,晶圓尋邊器,晶圓對(duì)準(zhǔn)器,硅片對(duì)邊器,晶圓缺角器,槽口對(duì)準(zhǔn)器,晶圓找平

• 

  貴州晶圓理片器晶圓對(duì)準(zhǔn)器

  面議

  產(chǎn)品名：晶圓理片器,半導(dǎo)體理片器,晶圓尋邊器,晶圓對(duì)準(zhǔn)器,硅片對(duì)邊器,晶圓缺角器,槽口對(duì)準(zhǔn)器,晶圓找平