這種剛性結構蠕變小，漂移小，靜態(tài)性能穩(wěn)定，動態(tài)性能好。厚膜彈性體結構簡單，易于制備。它與擴散硅壓力傳感器相比，不需半導體平面工藝來形成擴散電阻彈性膜片，大幅度減小了生產線的前期投入和工藝加工成本。陶瓷厚膜力數(shù)字傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體，采用95％的AL2O3瓷精加工而成，要求平整、均勻、質密，其厚度與有效半徑視設計量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫燒制成型。
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