氧化擴散爐性能特點：

◆具有可編程的升、降溫功能

◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網(wǎng)、磁場的干擾

◆windows xp全中文視窗操作系統(tǒng)，可儲存1000條曲線，每條曲線設置30步

◆自動運行中可暫停／繼續(xù)運行功能

◆智能升降溫斜率控制功能

◆PlD參數(shù)自整定功能，可存儲多組PlD參數(shù)供系統(tǒng)運行調用功能

◆系統(tǒng)故障的檢測與報警功能、系統(tǒng)誤差修正(單點或多點動態(tài)修正功能)

◆具有停電后斷點繼續(xù)運行功能

◆工藝方式：干法氧化、濕法氧化、水汽氧化

主營產(chǎn)品: 太陽能擴散爐,程控高低溫擴散爐

青島福潤德微電子設備有限公司坐落在山東省青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,距離流亭國際機場僅五公里,現(xiàn)有廠房面積2000余平方米，固定資產(chǎn)800萬元，共有員工50余人，工程技術人員10余人。是一批具有豐富技術經(jīng)驗和敬業(yè)精神的團隊所組成,是我國微電子設備生產(chǎn)廠家之一,中國半導體設備行業(yè)協(xié)會理事單位,在國內外享有盛譽，為國家863計劃做出重大貢獻。

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