氣保焊氬氧氦氮碳混配器半導(dǎo)體特氣柜減壓閥隔膜閥scrubber尾氣爐
氣保焊氬氧氦混配器M273半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜減壓閥scrubber尾氣爐
Ar/CO2混配器半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜R210減壓閥scrubber尾氣處理爐

氣保焊（氣體保護(hù)焊）和二氧化碳（CO?）保護(hù)焊是焊接中常用的方法，二者既有聯(lián)系又有區(qū)別。以下是它們的核心區(qū)別和特點(diǎn)：
1. 定義與分類(lèi)**
氣保焊（GMAW，氣體保護(hù)金屬極電弧焊）
廣義上指所有使用外部氣體作為保護(hù)介質(zhì)的電弧焊方法，保護(hù)氣體可以是 **CO?、Ar（氬氣）、He（氦氣） 或它們的混合氣體（如Ar+CO?）。
常見(jiàn)類(lèi)型：MIG焊（惰性氣體保護(hù)，如Ar）、MAG焊（活性氣體保護(hù)，如Ar+CO?）、純CO?焊。

CO?保護(hù)焊**
是氣保焊的一種特例，**僅使用純CO?作為保護(hù)氣體**，屬于MAG焊（活性氣體）的范疇。

2. 保護(hù)氣體的區(qū)別
類(lèi)型 保護(hù)氣體 特點(diǎn)

氣保焊（廣義） | CO?、Ar、He或混合氣體 | 氣體選擇靈活，根據(jù)材料調(diào)整（如不銹鋼用Ar+CO?，鋁用Ar）。 |
CO?保護(hù)焊 | 純CO?（成本低，易獲?。?| 氧化性強(qiáng)，飛濺較大，適合碳鋼和低合金鋼，不適用于鋁、不銹鋼等高氧化敏感材料。 |

3. 工藝特點(diǎn)對(duì)比
方面 | 氣保焊（如MIG/MAG） | CO?保護(hù)焊

飛濺 | 混合氣體（Ar+CO?）飛濺小，焊縫更平滑。 | 飛濺較大，需頻繁清理焊渣。 |
熔深 | 氬氣混合氣體熔深較淺，適合薄板。 | CO?熔深大，適合中厚板焊接。 |
成本 | 惰性氣體（如Ar）成本較高。 | CO?價(jià)格低，經(jīng)濟(jì)性好。 |
適用材料 | 不銹鋼、鋁、鎂合金等（需匹配氣體）。 | 僅適用于碳鋼和低合金鋼。 |
電弧穩(wěn)定性| 混合氣體電弧更穩(wěn)定，煙塵少。 | 電弧穩(wěn)定性較差，煙塵較多。 |

4. 應(yīng)用場(chǎng)景
CO?保護(hù)焊：廣泛用于船舶、汽車(chē)、鋼結(jié)構(gòu)等碳鋼焊接，追求低成本和率。
氣保焊（MIG/MAG）：
MIG（Ar/He）：焊接鋁、銅、不銹鋼等非鐵金屬。
MAG（Ar+CO?/O?）：碳鋼、低合金鋼的焊接，如汽車(chē)制造、管道工程。

5. 總結(jié)
CO?保護(hù)焊是氣保焊的子集**，專(zhuān)指使用純CO?氣體的焊接。
氣保焊范圍更廣**，通過(guò)更換氣體可適應(yīng)不同材料，但成本較高。
選擇依據(jù)**：
焊碳鋼且預(yù)算有限 → CO?保護(hù)焊。
焊不銹鋼、鋁或要求 → 用MIG/MAG（混合氣體）。
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硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氫化合物。目前應(yīng)用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱做硅烷。
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硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè)， 用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今世界上的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
硅烷的著火和爆炸都是與氧氣反應(yīng)的結(jié)果。硅烷對(duì)氧和空氣極為敏感。具有一定濃度的硅烷在- 180℃的溫度下也會(huì)與氧發(fā)生爆炸反應(yīng)。固體硅烷與液氧反應(yīng)非常危險(xiǎn)。硅烷燃燒時(shí)火焰呈深黃色, 在氧氣充足的條件下發(fā)生反應(yīng):

SiH4+ 2O2=SiO2+ 2H2O ΔH= - 362 kcal/ mol

若氧氣不足, 則有不完全氧化反應(yīng)發(fā)生:

SiH4+ O2=SiO2+ 2H2 Δ H= - 226 kcal/ mol

燃燒產(chǎn)生的高溫還使部分未反應(yīng)的硅烷發(fā)生熱分解反應(yīng):

SiH4 =Si+ 2H2 ΔH= - 8. 2 kcal/ mol
LD50:- LC50:9600ppm/4小時(shí)
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毒性效應(yīng):

其他注意事項(xiàng):研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)老鼠暴露在10000ppm下1小時(shí)或 ≥2500ppm下4小時(shí)會(huì) 對(duì)腎產(chǎn)生影響。老鼠暴露在1000ppm，6小時(shí)/天，5天/周下2到4周后只有輕微的呼吸道刺激。硅烷會(huì)引起細(xì)菌的變異。

致癌性:至今未被發(fā)現(xiàn)致癌。
可能之環(huán)境影響/環(huán)境流布:

水中毒性:-

流動(dòng)性:由于在空氣中自燃，它會(huì)在進(jìn)入土壤之前燃燒掉。

持續(xù)性及生物降解:由于在空氣中燃燒并分解，硅烷不會(huì)在環(huán)境中長(zhǎng)期存在。

潛在的生物富集:硅烷不會(huì)在生物中積累。

注:硅烷不含有任何1類(lèi)或2類(lèi)的分解臭氧的化學(xué)物質(zhì)。
避免強(qiáng)氧化劑,強(qiáng)堿，鹵素。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下氣體密度為1.44g/L，液體的相對(duì)密度為0.68(-185℃)。蒸氣壓11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。紅外光譜波長(zhǎng)2191cm-1、914cm-1。在室溫時(shí)為氣體狀態(tài)，在儲(chǔ)存過(guò)程中，數(shù)月之內(nèi)無(wú)顯著分解。因?yàn)榧坠柰閹缀醪蝗苡跐?rùn)滑脂，可以儲(chǔ)存在瓶塞涂有潤(rùn)滑脂的容器內(nèi)。

硅烷的化學(xué)性質(zhì)比烷烴活潑得多，極易被氧化。在與空氣接觸時(shí)可發(fā)生自燃。25℃以下與氮不起作用，室溫下與烴類(lèi)化合物不起反應(yīng)。與氧反應(yīng)異常激烈，即使在-180℃溫度下也會(huì)猛烈反應(yīng)。

硅烷與氟氯烴類(lèi)滅火劑會(huì)發(fā)生激烈反應(yīng)，所以不能用這類(lèi)滅火劑滅火。爆炸極限為0.8%~98%。
危害:

眼接觸:硅烷會(huì)刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無(wú)定型二氧化硅。眼睛接觸無(wú)定型二氧化硅顆粒會(huì)引起刺激。

吸入:1.吸入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。

2.硅烷會(huì)刺激呼吸系統(tǒng)及粘膜。過(guò)度吸入硅烷會(huì)引起肺炎和腎病，這是由于存在結(jié)晶二氧化硅的原因。

3.暴露于高濃度氣體中還會(huì)由于自燃而造成熱灼傷。

攝入:攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。

皮膚接觸:硅烷會(huì)刺激皮膚。硅烷分解產(chǎn)生無(wú)定型二氧化硅 。皮膚接觸無(wú)定型二氧化硅顆粒會(huì)引起刺激。

慢性癥狀:如今不清楚長(zhǎng)期暴露于硅烷中對(duì)健康的進(jìn)一步影響。

損害器官:未建立

過(guò)度暴露造成的病情惡化 :有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會(huì)加重病情。

致癌性:未被 NTP、OSHA及IARC列為致癌物。
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急救措施

不同暴露途徑之急救方法:

熱灼傷:由于硅烷泄漏引起人員灼傷時(shí)應(yīng)由受過(guò)培訓(xùn)的人員進(jìn)行急救，并立即尋求醫(yī)療處理。

眼睛接觸:立即用水沖洗少15分鐘，水流不要太快，同時(shí)翻開(kāi)眼瞼。使受難者為"O"形眼，立即尋求眼科處理。

吸入:將患者盡快移到空氣清新處。如有必要由受過(guò)培訓(xùn)的人員進(jìn)行輸氧或人工呼吸。

皮膚接觸:1.用大量的水沖洗少15分鐘。脫掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接觸到眼睛。

2.如果患者有持續(xù)的刺激感或其他進(jìn)一步的健康影響需立即進(jìn)行醫(yī)療處理。

醫(yī)生須知:如有必要需吸氧。觀察患者是否有肺炎初期癥狀。
適用滅火劑:切斷氣源滅火。用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。不要用鹵化物類(lèi)滅火器。從遠(yuǎn)的距離用水冷卻暴露在火焰中的鋼瓶。
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滅火時(shí)可能遭遇之特殊危害:

1.可自燃?xì)怏w。本產(chǎn)品是一種無(wú)色、易與空氣反應(yīng)的氣體。該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無(wú)定型二氧化硅煙霧。

2.如果泄放硅烷時(shí)壓力過(guò)高或速度過(guò)快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒(méi)有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近。

3.大多數(shù)鋼瓶設(shè)計(jì)了溫度升高時(shí)的泄放裝置。由于熱量的作用氣瓶?jī)?nèi)壓力會(huì)升高，如果泄壓裝置失靈會(huì)引起鋼瓶爆炸。
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特殊滅火程序:

1.從泄漏區(qū)疏散所有人。如有可能，在沒(méi)有危險(xiǎn)的情況下切斷氣源之后根據(jù)燃燒的物質(zhì)滅火 。

2.用水霧減少空氣中形成的燃燒產(chǎn)物。水可能對(duì)撲滅硅烷的火災(zāi)不起作用。

3.不要用鹵化物類(lèi)滅火劑。如有可能，阻止泄漏。

4.不要試圖在切斷氣源之前滅火。這樣可以避免可燃性氣體混合物的累積和重燃。

5.對(duì)于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不會(huì)傷害人員，讓火焰自然熄滅。用大量的水為周?chē)匿撈繃娏芙禍?，直到火焰熄滅?br />
6.在大的火災(zāi)中，應(yīng)該用自動(dòng)管支架和控制噴嘴從遠(yuǎn)距離滅火 。

7.處理火災(zāi)初起時(shí)，要對(duì)眼睛進(jìn)行保護(hù)。如果是大火，需要自給式呼吸器和全身防護(hù)服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷洗滅火設(shè)備。

有害燃燒產(chǎn)物:包括二氧化硅在內(nèi)的燃燒產(chǎn)物。
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清理方法:

1.撤離立即受影響區(qū)域。

2.硅烷是一種可自燃?xì)怏w。該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的黃色的無(wú)定型二氧化硅煙霧。

3.不受控制的泄漏需要由經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的人員按照事先擬好的計(jì)劃進(jìn)行處理。硅烷的泄漏一般都會(huì)引起火災(zāi)。

4.如果硅烷泄放時(shí)壓力過(guò)高或速度過(guò)快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒(méi)有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近。

5.如有可能切斷泄漏的氣源，隔離泄漏的鋼瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近閥門(mén))，讓鋼瓶在原地泄放或?qū)撈恳频揭粋€(gè)安全的地方泄放。

6.若從容器內(nèi)及泄壓閥或其他閥門(mén)泄漏，請(qǐng)與供商聯(lián)系。

7.若泄漏來(lái)自用戶系統(tǒng)，關(guān)掉鋼瓶閥門(mén)，在修復(fù)定要泄壓并用惰性氣體吹掃。

8.所有人員都要有防護(hù)，泄漏區(qū)要受到控制。

9.所有應(yīng)急反應(yīng)人員都要有適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)，以避免暴露于硅烷中。監(jiān)測(cè)周?chē)h(huán)境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允許范圍內(nèi)時(shí)(見(jiàn)第二部分)，人員才能在沒(méi)有自給式呼吸器的情況下進(jìn)入。進(jìn)入前，可燃性氣體的濃度一定要低于0.14%，也就是硅烷L(zhǎng)EL的10%。進(jìn)入前要爭(zhēng)取關(guān)閉氣體的總閥門(mén)。
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儲(chǔ)存:

1.在通風(fēng)良好、安全且不受天氣影響的地方存儲(chǔ)。鋼瓶應(yīng)直立擺放。且保持保護(hù)性閥蓋和輸出閥的密封完好。

2.存儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)遠(yuǎn)離頻繁出入處和緊急出口。儲(chǔ)存區(qū)域內(nèi)不應(yīng)有火源，儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)所有電器有防爆設(shè)施。易燃物存放區(qū)應(yīng)與氧及氧化物存放區(qū)少相距20ft 。

3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障，以能耐火半小時(shí)。儲(chǔ)存區(qū)和使用區(qū)內(nèi)應(yīng)有"禁止吸煙和使用明火"的告示牌。4.存儲(chǔ)溫度不可125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開(kāi)存放。避免過(guò)量存儲(chǔ)和存儲(chǔ)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。

5.使用先出系統(tǒng)。應(yīng)考慮在儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)安裝測(cè)漏器和報(bào)警設(shè)備。

使用:

1.使用防火花工具。不要試圖對(duì)裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動(dòng)。

2.如果出現(xiàn)故障或其他操作問(wèn)題，請(qǐng)立即與近的分銷(xiāo)商聯(lián)系。

3.如有可能應(yīng)避一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行--一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。

4.用氫離子檢測(cè)器監(jiān)測(cè)硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散，用紅外/紫外監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)火災(zāi) 。所以的監(jiān)測(cè)器都應(yīng)有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。

5.監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。有遙控緊急開(kāi)關(guān)，必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。

6.硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過(guò)流閥或過(guò)流開(kāi)關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開(kāi)關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。

7.一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車(chē)來(lái)移動(dòng)容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來(lái)拎起它。氣瓶在使用的全過(guò)程中為固定狀態(tài)。

8.用一個(gè)減壓器或立的控制閥安全地從氣瓶?jī)?nèi)釋放氣體。用單向閥來(lái)防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過(guò)的系統(tǒng)連接好，應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開(kāi)鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。

10.不可將工具(如:扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會(huì)損壞閥門(mén)并引起泄漏。

11.使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來(lái)打開(kāi)過(guò)緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備防火花和防爆。
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特殊注意事項(xiàng):

1.系統(tǒng)溫度不可低于-170℉ (-112℃)，否則可能會(huì)吸入空氣形成爆炸性混合物。

2.不要讓硅烷與重金屬鹵化物或鹵素接觸，硅烷與它們劇烈反應(yīng)。應(yīng)仔細(xì)吹掃系統(tǒng)，以防殘留有脫脂劑，其中所含的鹵素或其他含氯的碳?xì)浠衔铩?br />
3.用二至三倍的工作壓力對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行全面加壓檢漏，好使用氦氣。此外，還應(yīng)建立和執(zhí)行常規(guī)的檢漏制度。

4.系統(tǒng)檢漏或因其他原因打開(kāi)之后，應(yīng)使用抽真空或惰性氣體吹掃的方法將系統(tǒng)中的空氣吹掃干凈。在打開(kāi)任何裝有硅烷的系統(tǒng)之前用惰性氣體全面吹掃系統(tǒng)。如果系統(tǒng)中的任何部分有死角或可能殘留硅烷的地方，抽真空循環(huán)吹掃。

5.應(yīng)將硅烷排放到一個(gè)處理它的地方，好是將它燃燒掉。即使硅烷濃度較低也十分危險(xiǎn)，不能暴露在空氣中。硅烷在被惰性氣體稀釋成不可燃的氣體后也可以排空。

6.應(yīng)按照美國(guó)壓縮氣體協(xié)會(huì)的要求儲(chǔ)存和使用壓縮氣體。當(dāng)?shù)乜赡軐?duì)儲(chǔ)存和使用氣體要求有特殊的設(shè)備規(guī)定。
工程控制:在使用和儲(chǔ)藏該產(chǎn)品的區(qū)域或其鄰近區(qū)域應(yīng)安裝硅烷探測(cè)器。提供充足的自然或防爆通風(fēng)以防止氣體濃度的增加，確保硅烷沒(méi)有達(dá)到1.4%燃燒下限。如適用，安裝自動(dòng)監(jiān)視設(shè)備來(lái)探測(cè)爆炸性混合空氣和氧含量。

控制參數(shù):

八小時(shí)日時(shí)量平均容許濃度(TLV):5ppm

短時(shí)間時(shí)量平均容許濃度(STEL):-

高容許濃度:-

生物指針:-

個(gè)人防護(hù)設(shè)備:

呼吸防護(hù):

1.能引起快速窒息的高濃度也在其燃燒極限范圍內(nèi)，不能進(jìn)入。

2.緊急情況時(shí)需使用逃生用自給式呼吸器。

眼睛防護(hù):

1.佩戴防濺眼鏡或有側(cè)防護(hù)的安全眼鏡和面罩。

2.確保使用該產(chǎn)品的附近區(qū)域有安全淋浴及洗眼器。

皮膚及身體防護(hù):當(dāng)操作鋼瓶時(shí)使用工作手套，在緊急情況時(shí)使用防火手套和防火衣。處理泄漏時(shí)戴兩副手套。

其其它防護(hù)設(shè)備:工作時(shí)使用恰當(dāng)?shù)纳眢w防護(hù)用品，推薦使用防靜電衣，操作鋼瓶時(shí)建議穿安全鞋。
未使用過(guò)的產(chǎn)品/空的鋼瓶:將容器及未用的產(chǎn)品返回給供應(yīng)商。不要將剩余或未用的 產(chǎn)品擅自處理掉。

處理方法:系統(tǒng)中剩余的硅烷應(yīng)在適當(dāng)?shù)娜紵髦袩簟Ｔ撨^(guò)程應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī)進(jìn)行。含有該物質(zhì)的廢物被EPA列位有害廢物。按照當(dāng)?shù)氐姆ㄒ?guī), 用戶要注明廢料的流向。
包裝方法:鋼質(zhì)氣瓶;安瓿瓶外普通木箱。

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運(yùn)輸注意事項(xiàng):采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉;高度不得超過(guò)車(chē)輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。運(yùn)輸時(shí)運(yùn)輸車(chē)輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材。裝運(yùn)該物品的車(chē)輛排氣管配備阻火裝置，禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具裝卸。嚴(yán)禁與氧化劑、堿類(lèi)、鹵素、食用化學(xué)品等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。中途停留時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源。公路運(yùn)輸時(shí)要按規(guī)定路線行駛。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
氣保焊氬氧氦混配器M273半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜減壓閥scrubber尾氣爐
半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排

上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司致力于推動(dòng)氣體的利用、不斷為客戶創(chuàng)造價(jià)值的使命，專(zhuān)注于制 造的高純及純氣體減壓器、氣體閥門(mén)，產(chǎn)品包括氣體混配器、全自動(dòng)氣瓶柜、調(diào)壓閥、隔膜 閥、單向閥、過(guò)濾器等，同時(shí)為客戶提供流體系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)及施工。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于裝備制造、半導(dǎo) 體、光伏、***等行業(yè)。

公司占地5000余平方米，2000平方米生產(chǎn)廠房，100平方CLASS 1000 無(wú)塵室。公司配備理化室。具 有高低溫、震動(dòng)、硬度、金相、光譜、非接觸式表面光潔度、壓力、流量整套檢測(cè)能力。公司現(xiàn)有30余臺(tái) 套精密機(jī)械加工設(shè)備，包括加工中心、數(shù)控車(chē)床、數(shù)控銑床等。
公司擁有一批富有20余年從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。完整的產(chǎn)品線貼近市場(chǎng)需求，同時(shí)通過(guò)與美國(guó)、 法國(guó)等同行業(yè)技術(shù)合作，為國(guó)外***品牌進(jìn)行定牌生產(chǎn)，技術(shù)能力得以不斷提升。
公司通過(guò)了*** 國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證，獲得壓力管道設(shè)計(jì)、特種設(shè)備制造(閥門(mén)及元件組合裝 置)、特種設(shè)備安裝(壓力管道、壓力容器)許可證。

上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司愿為您的流體供應(yīng)系統(tǒng)安全、潔凈、的運(yùn)作，提供整體產(chǎn)品解決 方 案 。

氣保焊氬氧氦混配器M273半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜減壓閥scrubber尾氣爐

半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排
GC5000系列UHP供氣用氣瓶柜采用冷軋?zhí)间摪搴附佣?SUS304不銹鋼板可選),有效隔離氣瓶與工作 環(huán)境，分單瓶、二瓶、三瓶及四瓶四種規(guī)格，氣瓶柜頂部設(shè)有抽風(fēng)口，

對(duì)于有毒有害氣體在供氣時(shí)建議***一定排風(fēng)量，以確保安全使用。氣瓶柜正面門(mén)板下部設(shè)置有通風(fēng)百葉， 有利于加強(qiáng)氣柜通風(fēng)效果。

GC5000 系列氣瓶柜設(shè)置有8mm 不銹鋼絲加強(qiáng)鋼化玻璃透明視窗，方便用氣過(guò)程中監(jiān)控。

GC5000 系列氣瓶柜用于可燃性氣體時(shí)，氣瓶柜頂部標(biāo)準(zhǔn)配置有水噴淋系統(tǒng)，需要時(shí)可與煙感或泄漏報(bào)警器

聯(lián)動(dòng)。

半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排

直燃+水洗式尾氣處理爐AR-FUEL WET TYPE GAS ABATEMENT SCRUBBER

SB770W 為燃?xì)馀c空氣預(yù)混動(dòng)力燃燒式尾氣處理爐，燃燒腔水冷，經(jīng)燃燒處理 后的尾氣經(jīng)過(guò)進(jìn)一步水洗、過(guò)濾后高空放散或排入中央洗滌塔。

應(yīng) 用

■應(yīng)用于ETCH,CVD,DIFF 等半導(dǎo)體行業(yè)工藝過(guò)程中產(chǎn)生 的廢氣處理，氣體種類(lèi)包括：

腐蝕性氣體(Cl2,F2,HCl,HF,BCl3,HBr 等 )

可燃性氣體(SiH4,TEOS,DCS 等 )



半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜氣體配比混配器調(diào)壓減壓閥隔膜閥匯流排

產(chǎn)品特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可靠，處理效***

尾氣燃燒、水洗，尤其適用于酸堿性尾氣處理

低氮燃燒器，處理能力大(1000SLPM, 含吹掃置換氮?dú)?,處理效***； PLC 全自動(dòng)控制，模塊化結(jié)構(gòu)，交貨快

待機(jī)、沉積、清潔三個(gè)過(guò)程快速響應(yīng)，三種運(yùn)行模式，能源消耗少 標(biāo)配粉塵刮刀

多級(jí)多重安全連鎖，防回火設(shè)施設(shè)計(jì)，氮?dú)庀♂尡Ｗo(hù)，確保長(zhǎng)時(shí)間無(wú)故障安全運(yùn)行

主營(yíng)產(chǎn)品: 調(diào)壓特氣柜,調(diào)壓匯流排

上海浦煦流體控制系統(tǒng)有限公司致力于推動(dòng)氣體的利用、不斷為客戶創(chuàng)造價(jià)值的使命，專(zhuān)注于制造 的高純及純氣體減壓器、氣體閥門(mén)，產(chǎn)品包括調(diào)壓閥、隔膜閥、單向閥、過(guò)濾器等，同時(shí)為 客戶提供高純氣體管路、化學(xué)管路、HV/LV 管路、純水管路、毒氣偵測(cè)系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)及施工。產(chǎn)品廣 泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)。

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  氣保焊氬氧氦混配器M273匯流排減壓撬特氣柜減壓閥scrubber尾氣爐

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  產(chǎn)品名：氬氧氦減壓撬

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  產(chǎn)品名：氣保焊混配器

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  氣保焊混配罐半導(dǎo)體特氣柜減壓器隔膜閥干式吸附尾氣處理爐SB740

  68600元

  產(chǎn)品名：氣保焊混配罐

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  產(chǎn)品名：半導(dǎo)體全自動(dòng)特氣柜

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