半導體晶圓切割用劃片刀頭在切割時,線速度是一個非常重要的參數(shù),可以直接影響到切割效率和切割質(zhì)量。 以下是關于金剛石刀頭切割過程中線速度的介紹: 線速度是指切割線每分鐘旋轉(zhuǎn)的圈數(shù),單位為m/min。 線速度過快,金剛石顆粒就會被削短,使刀頭變鈍,而且金剛石顆粒很容易掉落,影響切割質(zhì)量。 線速度過慢,刀頭會過度磨損,切割效率低下。 金剛石刀頭切割時,應根據(jù)不同的材料選擇合適的線速度。
因為硅材料的脆性,機械切割方式會對晶圓的正面和背面產(chǎn)生機械應力,結(jié)果在芯片的邊緣產(chǎn)生正面崩角(FSC- Front Side Chipping)及背面崩角(BSC – Back Side Chipping)。
正面崩角和背面崩角會降低芯片的機械強度,初始的芯片邊緣裂隙在后續(xù)的封裝工藝中或在產(chǎn)品的使用中會進一步擴散,從而可能引起芯片斷裂,導致電性失效。另外,如果崩角進入了用于保護芯片內(nèi)部電路、防止劃片損傷的密封環(huán)(Seal Ring)內(nèi)部時,芯片的電氣性能和可靠性都會受到影響?!?br />
封裝工藝設計規(guī)則限定崩角不能進入芯片邊緣的密封圈。
切割毛刺
毛刺在晶圓的切割邊緣形成的微小的材料殘留,毛刺不僅影響芯片的外觀,而且對芯片的性能和后續(xù)加工步驟產(chǎn)生負面影響。
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