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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質量,易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設備性能和生產(chǎn)效率的關鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標,本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結構特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。
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