供應(yīng)商 | 上海河辰物資回收利用有限公司 店鋪 |
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認(rèn)證 | |
報(bào)價(jià) | 人民幣 200000.00元每臺(tái) |
關(guān)鍵詞 | 多晶硅鑄錠爐回收 |
所在地 | 上海市 |
5年
浙江濱江多晶硅鑄錠爐回收 真空泵回收現(xiàn)場(chǎng)報(bào)價(jià)
長(zhǎng)期收購(gòu)出售-藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、控制柜回收,整流柜回收,濾波柜回收
半導(dǎo)體級(jí)直拉法的工藝控制\進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著新興產(chǎn)業(yè)的科技創(chuàng)新,半導(dǎo)體行業(yè)得到了的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,尤其近幾年,大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),縮短該行業(yè)與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來(lái)替代硅材料,但未來(lái)幾年可以預(yù)見,硅材料由于其成熟的技術(shù)品質(zhì)和穩(wěn)定的物理化學(xué)性質(zhì),將會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應(yīng)用的領(lǐng)域也是相當(dāng)廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經(jīng)過物理變化,讓硅原子按照人為設(shè)定的方向進(jìn)行生長(zhǎng),終形成的。一般會(huì)采用直拉法進(jìn)行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會(huì)越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應(yīng)的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對(duì)熱場(chǎng)的設(shè)計(jì),工藝的過程控制,減少位錯(cuò)的產(chǎn)生,以及通過化學(xué)腐蝕對(duì)位錯(cuò)進(jìn)行檢測(cè)的相關(guān)問題。
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服務(wù)宗旨:誠(chéng)實(shí)、公正、守信、價(jià)格合理、平等互利。業(yè)務(wù)人員拆運(yùn)自提回收,按市場(chǎng)的時(shí)價(jià),給顧客一個(gè)合理價(jià)格,以求長(zhǎng)遠(yuǎn)的合作。介紹業(yè)務(wù)者有豐厚酬勞!
工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時(shí)打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當(dāng)外部化料器7中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料,如此循環(huán),進(jìn)而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間,進(jìn)而提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進(jìn)而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13驅(qū)動(dòng)副爐室3移動(dòng),分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,全自動(dòng)控制系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實(shí)時(shí)采集晶體直徑信息。液面測(cè)溫確保下籽晶溫度和可重復(fù)性。爐內(nèi)溫度或加熱功率控制方式可選,??販鼐?。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。真空計(jì)結(jié)合電動(dòng)蝶閥實(shí)時(shí)控制爐內(nèi)真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)的混合使用,即可滿足轉(zhuǎn)動(dòng)所需的扭矩,又可實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速的控制。質(zhì)量流量計(jì)控制流量。自主產(chǎn)權(quán)的控制軟件采用視窗平臺(tái),操作方便簡(jiǎn)潔直觀。多種曲線和數(shù)據(jù)交叉分析工具提供了工藝實(shí)時(shí)監(jiān)控的平臺(tái)。完整的工藝設(shè)定界面使計(jì)算機(jī)可以自動(dòng)完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統(tǒng)直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場(chǎng)設(shè)計(jì)使晶體提拉速度提高20-30%。
所屬分類:設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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