過濾器主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物，作為各種過濾系統(tǒng)的末端過濾。采用超細玻璃纖維紙作濾料，膠板紙、鋁箔板等材料折疊作分割板，新型聚氨酯密封膠密封，并以鍍鋅板、不銹鋼板、鋁合金型材為外框制成。
無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點：對于300000級空氣凈化處理，可采用亞過濾器代替過濾器；空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理，應采用初、中、過濾器三級過濾器；中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用；中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)的正壓段；或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的末端。
凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質量的核心標準，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內區(qū)域行業(yè)標準，一些凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執(zhí)行的國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。
風淋室（AIR SHOWER）又稱為風淋，潔凈風淋室，凈化風淋室，風淋房，吹淋房，風淋門，浴塵室、吹淋室，風淋通道，空氣吹淋室。
風淋室是進入潔凈室所必需的通道，可以減少進出潔凈室所帶來的污染問題。
風淋室是一種通用性較強的局部凈化設備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當人與貨物要進入潔凈區(qū)時需經(jīng)風淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區(qū)。風淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進入潔凈區(qū)域。
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